ichf_logo instytut

Laboratorium Skaningowej Mikroskopii Elektronowej

Aparatura


Skaningowy Mikroskop Elektronowy FEI Nova NanoSEM 450

Skaningowy mikroskop elektronowy FEI Nova NanoSEM 450 jest nowoczesnym przyrządem badawczym o wszechstronnym zastosowaniu. Z jego pomocą możliwe jest uzyskanie obrazów powierzchni o wysokiej rozdzielczości na różnych materiałach, takich jak np.: nanocząstki, nanorurki, nanodruty, proszki, materiały elektroniczne i organiczne, warstwy diamentowe, jak również wiele innych.

Najważniejsze cechy mikroskopu Nova NanoSEM 450:

  • Źródło elektronów Schottk'ego o wysokiej stabilności prądu wiązki
  • Energia wiązki 50 eV - 30 keV
  • Detekcja elektronów wtórnych (SE), wstecznie rozproszonych (BSE), tryb transmisyjny (STEM)
  • Rozdzielczość (wg producenta):
    • 0,8 nm przy 30 kV (STEM)
    • 1,0 nm przy 15 kV (SE)
    • 1,4 nm przy 1 kV (SE) bez spowalniania wiązki
  • Wysoko-rozdzielczy tryb nisko-próżniowy FE-SEM: 1,8 nm przy 3 kV i 30 Pa
  • Prąd wiązki do 200nA
  • Bezolejowy system pompowy.

Tryby pracy Nova NanoSEM 450 to tryb nisko- (10 do 200 Pa) i wysokopróżniowy (około 6.10-5 Pa). W trybie niskopróżniowym można badać materiały nieprzewodzące bez potrzeby napylania ich metalem, co byłoby konieczne w przypadku tradycyjnej metody wysokopróżniowej. Mikroskop wyposażony jest w wyspecjalizowane detektory dla trybu niskopróżniowego, pozwalające na uzyskanie, w tych warunkach, wysokorozdzielczych obrazów.

Mikroskop wyposażony jest w precyzyjny, eucentryczny, komputerowo sterowany stolik, pozwalający na przesuwanie próbki w trzech osiach, obrót i pochylenie. Zintegrowana kamera nawigacyjna i odpowiedni moduł oprogramowania ułatwia przemieszczanie się pomiędzy próbkami. Rozmiar komory mikroskopu pozwala na użycie stosunkowo dużych próbek.

Jakościowa i ilościowa analiza składu próbek jest możliwa przy użyciu detektorów EDX (spektrometr dyspersji energii promieniowania rentgenowskiego) i WDX (spektrometr dyspersji długości fali promieniowania rentgenowskiego). Możliwe jest określenie składu miejscowego jak i sporządzanie map rozkładu pierwiastków w próbce.

                                   

Mikroskop Nova NanoSEM 450 wyposażony jest także w:

  • Plasma Cleaner - źródło plazmowe do usuwania zanieczyszczeń z próbki jak i czyszczenia komory mikroskopu
  • Cryocleaner - pułapka na zanieczyszczenia chłodzona ciekłym azotem
  • Quick loader system - śluza pozwalająca na załadowanie mniejszych próbek bez potrzeby zapowietrzania całej komory mikroskopu.

Przykładowe obrazy SEM uzyskane w Labarotorium Skaningowej Mikroskopii Elektronowej

Nanorurki TiO​- obraz elektronów wtórnych

       

Nacząstki MoS​- tryb skaningowo-transmisyjny